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MEMS 静态响应加速度传感器
MEMS传感器即微机电系统是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点
筛选器
隐藏筛选器
重置筛选器
量程
±2g
±5g
±10g
±20g
±25g
±30g
±50g
±100g
±200g
±250g
±500g
±1000g
±2000g
±6000g
非线性度
±0.7%FSO
±1%FSO
输出
IEPE
压阻
放大电压
灵敏度
0.05-0.2mV/g
0.05-0.12mV/g
0.075mV/g
0.3-0.6mV/g
0.3mV/g
0.6-0.12mV/g
0.6-1.2mV/g
0.6mV/g
0.12-0.3mV/g
0.15mV/g
1.2-3mV/g
1.5mV/g
4mV/g
6mV/g
10mV/g
20mV/g
25mV/g
40mV/g
50mV/g
67mV/g
100mV/g
200mV/g
250mV/g
400mV/g
500mV/g
1000mV/g
2500mV/g
轴数
三轴
单轴
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